Page 11 - Cleanroom__1-2019_ZHP-lores
P. 11
ASTQ
10 000 000
9 000 000
8 000 000
/ m3 7 000 000 0.5 μm
6 000 000
5 000 000
4 000 000 ISO 8
3 000 000
2 000 000
1 000 000
0 ISO 7
12 34 56 7 8 9 10 11 12 13 14
ISO - 6 0,5 μm
10
/ m3 ISO - ISO -
/ m3
0.5 μm 10 725 6 10
35 200
/m³ FED STD 209E
≥ 0.1 μm ≥ 0.2 μm ≥ 0.3 μm ≥ 0.5 μm ≥ 1 μm
≥ 5 μm
ISO 1 10 2.37 1.02 0.35 0.083 0.0029
ISO 2 100 23.7 10.2 0.029
ISO 3 1000 237 102 3.52 0.83 0.29
ISO 4 10 000 2370 1020 2.9
ISO 5 100 000 23700 10200 35 8.3 29 1
ISO 6 1.0 x 106 237000 102000 293 10
ISO 7 1.0 x 107 2.37 x 106 1.02 x 106 352 83 2930 100
ISO 8 1.0 x 108 2.37 x 107 1.02 x 107 29300 1,000
ISO 9 1.0 x 109 2.37 x 108 1.02 x 108 3520 832 293000 10,000
100,00
35200 8320
352000 83200
3520000 832000
35200000 8320000
